(一)真空的概念

在真空技術(shù)上，真空是指壓強(qiáng)低于大氣壓的空間。真空可以分為“自然真空”和“人工真空”兩種。由于地球的引力作用，隨著地面高度的升高，空氣越來(lái)越稀薄，壓強(qiáng)越來(lái)越低，自然形成的真空稱自然真空。用真空裝置使空間形成的真空稱人工真空。不管是自然真空，還是人工真空，都達(dá)不到真正的“真空“。

(二)真空的單位

真空的單位用真空度表示。

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)單位是帕斯卡，簡(jiǎn)稱帕(Pa)，定義為I牛頓力作用在1平方米面積上的壓強(qiáng)為1帕斯卡。即1帕(pa) =1牛頓/米2( N/m2)

在日常生活中，時(shí)常還見(jiàn)到托(Torr )、巴(bar),毫米汞柱(mmHg)，標(biāo)準(zhǔn)大氣壓(atm)、工程大氣壓(at)等壓強(qiáng)單位，根據(jù)定義，它們的換算關(guān)系為:

1atm=760mmHg=760Torr= 1.013x105Pa

1bar=75OTorr=1x105Pa

1at=735.6Torr=9.8x104pa

1Torr=133.3Pa
(三)真空泵的主要參數(shù)

真空泵的種類很多，其工作范圍、條件、性能指標(biāo)各不相同，但主要的參數(shù)有三個(gè):起始?jí)簭?qiáng)、抽氣速率和極限真空。

起始?jí)簭?qiáng)(Pa)是指泵無(wú)損壞起動(dòng)并有抽氣作用的正常工作的壓強(qiáng)，如油封旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵可以在大氣壓下啟動(dòng)，而擴(kuò)散泵就必須在10 Pa左右才能啟動(dòng)。

抽氣速率(m3/s)即真空泵在規(guī)定條件工作時(shí)，在不引人氣體正常工作情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓強(qiáng)。極限真空直接反映真空泵的質(zhì)量和整個(gè)真空系統(tǒng)的狀態(tài)，是檢驗(yàn)泵本身或真空系統(tǒng)的一個(gè)主要指標(biāo)。