油擴散泵概述

2012-05-11

油擴散泵概述

擴散泵全名叫擴散式蒸氣流泵，是蒸氣流泵之一種。產生蒸氣流的泵液種類雖很多，但絕大多數是低飽和蒸氣壓的油類。以擴散泵油作工作液的稱油擴散泵，以汞作擴散泵液的則稱汞擴散泵，油擴散泵為常用,擴散泵需保證前級在10-2~10-3托的預真空條件下才能很好工作。通常用機械泵作前級泵。普通擴散泵可獲得10-4~10-9托的極限壓強，如果采用冷凍擋板或液氮冷阱，并對容器進行烘烤去氣，則可獲得10-8到10-11托的超高真空，如果泵設計得很好，再加上去除油蒸氣返流和永久氣體污染源等嚴格措施，那么獲得10-14托以上的極高真空也是可以達得到的。

擴散泵的主要優點是:抽氣能力大，抽速范圍寬(目前生產的泵抽速從幾升/秒到十萬升/秒)，對各種氣體包括惰性氣體(如氖、氦等)有相同的抽速，這是任何其他泵種所無法比擬的;此外與其他高真空或超高真空獲得設備相比，單位抽速所需成本較低(不象深冷泵等需極昂貴的冷凝劑)，結構簡單，沒有機械轉動，操作方便且能反復循環使用，便于維護，使用壽命長，很易獲得高真空，因而，擴散泵自六十五年前發明以來，特別是近三十年，已被廣泛用于電子、冶金、化學、原子能等工業部門和空間技術等科學研究領域中。

上海帕特泵業制造有限公司

2012年05月11日星期五

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